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三氯氢硅有什么毒害

【三氯氢硅有什么毒害】三氯氢硅（SiHCl₃）是一种无色、有刺激性气味的有毒气体，广泛应用于半导体制造、太阳能电池板生产以及硅材料合成浏览全文>>